客户前三季度付给中微公司 85.14 亿元，中微向供应商付出采购款 77.27 亿元

中微公司（上海的芯片制造设备商）前三季度卖货和提供服务收到现金 85.14 亿元，同期为购买商品和服务付出现金 77.27 亿元，经营现金净流出约 1.05 亿元¹。账面营业收入 103.26 亿元，同比增长约 28.08%，其中第三季度 36.35 亿元²^,1。

增长来源

公司称，用于先进逻辑芯片和存储芯片关键刻蚀步骤的高端产品新增发货量显著提升，多种关键刻蚀工艺已大规模量产²。

尚未公开：

前三季度回款来自哪些客户、各占多少
77.27 亿元采购现金付给了哪些供应商；是否包含向英杰电气的付款，如有金额多少

涉及的技术

技术简介

刻蚀是用化学或物理方法，在晶圆（制作芯片的圆形硅材料）表面有选择地去掉不需要的材料³。用等离子体（被电离的气体）来刻蚀是目前主流的刻蚀技术³。

已有应用

中微公司的 Primo Twin-Star 刻蚀机已在海内外客户的逻辑芯片、功率器件、微型发光二极管 Micro-LED 等生产线上量产³。

各家角色

中微公司已开发 54 种高端半导体设备，包括 26 种高能和低能等离子体刻蚀机²。

等离子体刻蚀设备 · 技术档案 →

谁在付钱

客户买设备和服务，未点名

购买商品和服务

前三季度收到现金 85.14 亿元（去年同期 105.81 亿元）¹

中微公司做刻蚀（去掉晶圆表面材料）设备

购买商品和劳务

前三季度付出现金 77.27 亿元（去年同期 75.78 亿元）¹

商品和服务供应商季报未点名

“| 销售商品、提供劳务收到的现金 | 8,514,443,743.16 | 10,580,960,004.38 |”¹

这里用统称「客户」

“| 购买商品、接受劳务支付的现金 | 7,727,269,267.51 | 7,578,219,632.74 |”¹

这里用统称「商品和服务供应商」；不能逐笔对应客户回款

收入增长，回款减少

前三季度销售回款 85.14 亿元，去年同期是 105.81 亿元；除采购款外还付了职工现金 15.99 亿元，经营现金净流出约 1.05 亿元，去年同期净流入约 12.98 亿元¹。客户还没付的货款（应收账款）从年初的 19.87 亿元增加到 36.96 亿元，中微公司还没付给供应商的账款（应付账款，账面余额）从 18.56 亿元增加到 36.00 亿元¹。

具名零件供应商

英杰电气（工业电源制造商）在 2026 年初的投资者问答中称，它的用于半导体设备的电源零件——射频电源——已配套应用于中微公司刻蚀机，现阶段只实现部分型号的进口替代⁴。该问答未披露中微公司前三季度是否向其付款及金额。

涉及的公司

688012

中微公司　中微公司已开发 54 种高端半导体设备，包括 24 种各类薄膜设备。²维基百科 · 官方网站 · 巨潮资讯

英杰电气（四川英杰电气股份有限公司）　英杰电气的射频电源自 2022 年底实现技术突破，也配套拓荆科技等设备商。⁴