技术档案

极紫外光刻Extreme ultraviolet lithography

用极紫外光印芯片图形

每条都摘自下方编号的来源原文；只写事实，不写预测或建议。

主要参与者

  • ASML 在其2025年年报中称自己是全球唯一的极紫外光刻系统制造商。1
    ASML is currently the world’s only manufacturer of EUV lithography systems.

来源

  1. SEC · asml-2025xannualxreportx · 2026-02-25