技术档案

无尘室Cleanroom

控制空气污染的生产空间

每条都摘自下方编号的来源原文;只写事实,不写预测或建议。

技术简介

  • 半导体无尘室是专门阻隔灰尘、空气中微生物和化学蒸气等污染物的受控空间。1
    A semiconductor cleanroom is a controlled space specifically designed to keep out contaminants like dust, airborne microbes, and chemical vapors.

来源

  1. imec-int.com · Cleanroom: the heart of microchip research and manufacturing | imec